LSCL-AFM扫描原子力显微镜系列

LSCL-AFM组合式扫描原子力显微镜是国内首家实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜，三轴独立式扫描，XYZ互不影响，非常适合三维材料及形貌检测；

LSCL-AFM组合式扫描原子力显微镜(闭环扫描台)

产品信息

LSCL-AFM组合式扫描原子力显微镜产品特点

  • 国内首家实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜；
  • 国内首家采用三轴独立闭环压电平移式扫描台，实现大范围高精度扫描；
  • 三轴独立式扫描，XYZ互不影响，非常适合三维材料及形貌检测；
  • 电动控制样品移动台和升降台，可任意编程多点位置实现快速自动化检测；
  • 龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式载物台；
  • 马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品；
  • 高倍辅助光学显微定位，实时观测与定位探针以及样品扫描区域；
  • 闭环压电扫描台无需非线性校正，纳米表征和测量精度优于99.5%。

技术参数

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应用案例

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